В России освоена 65-нм технология производства микросхем. Первые тестовые чипы выпущены в декабре 2013 году на зеленоградском «Микроне». В апреле этого года предприятие рассчитывает начать выпуск первых серийных микросхем. Это будет память на 16 Мбайт.
«Микрон» использует ультрафиолетовую фотолитографию с длиной волны излучений 193 нм, которая применяется и для серийного производства 90-нм чипов, но в данном случае она перестроена на более тонкие нормы.
В концу лета предприятие предоставит правила проектирования по новой технологии российским дизайн-центрам, а к концу года сможет выпускать их процессоры, а также собственные разработки. Проектная мощность фабрики – 500 пластин в месяц.
Надо заметить, что «Микрон» сейчас уже выпускает 3500 пластин по 90-нм технологии. Заказы на предприятии размещают создатель процессора Эльбрус МЦСТ, а также НТЦ «Элвис», специализирующееся на аппаратной обработке видеоизображений. В будущем к ним могут добавиться разработчики ГЛОНАСС.